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  • 產品應用

    電子信息、半導體行業

    2017-09-16 18:09:49
    1、石英玻璃擴散管;
     
    IC芯片制造,對單晶硅片進行摻雜、擴散、氧化、退火等關鍵工序要使用高純度、耐高溫、低熱膨脹的石英玻璃擴散管。影響最終集成電路和器件的質量、成本和生產效率是石英玻璃的純度、抗高溫變形性能、幾何尺寸和外觀質量性能,目前使用的直徑一般為200~600mm,要求為大規格、高純度和長壽命。另外可在管內表面涂高純SiO2,外表面噴涂Al2O3或SiC,經高溫火焰處理,形成微晶層,可顯著提高石英玻璃的抗高溫變形性能(1200℃提高到1280℃)。
     
    2、石英玻璃坩堝 
     
    目前的尺寸為直徑8~24in(203.2~609.6mm),太陽能硅單晶用占90%,其余為IC硅單晶,通常要求SiO2含量為99.99%。
     
    3、石英玻璃舟、支架等  
     
    ①擴散爐支架;
     
    ②石英舟;
     
    ③石英玻璃花籃;
     
    ④石英玻璃清洗槽
     
    4、石英玻璃鐘罩 
     
    5、石英玻璃法蘭 
     
    6、石英玻璃基片,用于電子行業的顯示器,目前用合成石英。
     
    7、光學用石英玻璃
     
    鏡頭、鏡片及噴涂材料等;激光器、傳感器用等。
     

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